高端裝備制造
單鉤型位移轉換機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
一種單鉤型位移轉換機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法,以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發明由加載機構、單鉤型定子和動子組成;所述定子的單鉤型菱形位移放大轉換機構具有微位移放大功能,由于其軸向剛度分布不均產生側向位移的同時又增大了摩擦驅動力,減小了摩擦阻力;同時將摩擦調控波耦合疊加于單鉤型定子快速變形階段的鋸齒驅動波中,從而降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力,實現對摩擦力的綜合調控,顯著提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發明因具有結構簡單緊湊、裝配方便、定位精度高以及行程不受限等優點可廣泛應用于半導體加工等微納精密驅動與定位技術領域。
長春工業大學
授權發明